電子生產(chǎn)車間靜電的產(chǎn)生及危害
靜電是電子在材料內(nèi)部或者在材料之間移動(含極化和傳導) 的產(chǎn)物。實驗室凈化無菌試驗室-潔凈實驗室-生物安全實驗室的建設方案包括:建筑布局和裝修、空氣調節(jié)、給排水、氣體供應、電氣設計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方面內(nèi)容。兩種不同的材料互相接觸,它們之間的小于一定的距離,如10-25cm時,由于隧道效應,兩種材料內(nèi)的電子穿過界面而相互交換。當交換達到平衡時,材料間將產(chǎn)生一定的電勢差,界面兩側出現(xiàn)了等量正負電荷。若把接觸后的兩種材料分開,兩種材料將分別帶上等量正負電荷,這就是靜電產(chǎn)生的基本原理。
靜電的產(chǎn)生主要有以下三種方式:摩擦起電、傳導帶電、感應帶電。
摩擦帶電:由于不同材料的物體在接觸后分離,因為不同的核對電子具有不同的結合能力,當兩種不同的材料接觸或摩擦時,外圍電子將被轉移到具有強結合能力的一側,從而形成材料帶。正面,另一種材料是負面的。
傳導帶電:因為在導體的情況下,電子可以在其表面自由移動。當與帶電體接觸時,電子會從帶電體轉移到帶電體,從而在它們之間產(chǎn)生電荷平衡,從而形成靜電現(xiàn)象。
感應電氣化:指相鄰電場的感應。對于導體,電子在導電材料表面自由運動。如果導體被置于另一個靜電場中,由于同性電荷的相互排斥和異性電荷的吸引,正負離子會轉移。由于靜電場感應引起的正負電荷不平衡,導體將被充電。
從靜電產(chǎn)生的基本原理和方式可以看出,在一般電子產(chǎn)品生產(chǎn)制造的全過程中,靜電可能在許多過程中產(chǎn)生。靜電放電(ESD)是電子制造過程中為操作人員、工作臺、工具、部件和包裝等產(chǎn)生靜電的過程。只要有靜電存在,就會有一個靜電放電(ESD)過程,主要是由瞬間放電電流感應到電路和底座所產(chǎn)生的噪聲放電電流。準地電位,如產(chǎn)品的電位和信號地電位,會引起偏移量的波動,從而干擾電路的正常工作。
靜電危害具有與一般防雷或電磁干擾不同的特點。
隱蔽:人體不會察覺到一般的靜電放電,但是在不知情的情況下會損壞部件。
潛在性和累積性:一些元器件受靜電放電損傷后,僅表現(xiàn)出某些性能參數(shù)下降,但尚未失效,在繼續(xù)使用的情況下可能導致失效,所以靜電對器件的損傷具有潛在性。
隨機性:電子元件的靜電放電損壞可能發(fā)生在任何一點,從工藝的任何步驟,從制造到制造再到維護,與任何帶電的人體(或物體)接觸,并且是高度隨機的。
復雜性:有些靜電損傷很難與其它原因引起的其它損傷區(qū)分開來,使人們誤認為靜電損傷失效是其它失效,從而做出錯誤的判斷。