電子無塵室是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,電子無塵室凈化工程對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。實驗室凈化無菌試驗室-潔凈實驗室-生物安全實驗室的建設方案包括:建筑布局和裝修、空氣調(diào)節(jié)、給排水、氣體供應、電氣設計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方面內(nèi)容。相對于其他工業(yè)潔凈室,電子無塵室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
電子行業(yè)車間凈化
根據(jù)電子無塵室的空氣循環(huán)特點,潔凈室可分為高效送風循環(huán)空調(diào)、濕密封循環(huán)風機和FFU循環(huán)系統(tǒng)三種類型。
第1種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的無塵室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第2種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵室大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省了運行空間,清潔度高,安全性好,運行成本低,而且具有較高的運行靈活性??呻S時對系統(tǒng)進行升級調(diào)整,不影響生產(chǎn)。所有這些都能很好地滿足半導體制造業(yè)的需要。因此,在半導體制造業(yè)中,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)是一個接一個的系統(tǒng)。逐步成為主要的凈化設計方案。
FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是:整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域,包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。
集成電路制造對電子無塵室的環(huán)境控制有著嚴格的要求。不同的工藝要求不同的清潔度,如1級微環(huán)境中的光刻和1000級環(huán)境中的化學機械研磨。
此外,集成電路制造潔凈廠房具有噪聲、微振動、照度等相關規(guī)定和要求,特別是振動控制,因此在潔凈室的建筑結構設計中需要有一定的要求。
良好的電子潔凈室凈化工程設計不僅節(jié)約能源,降低運營成本,減少人力投入,而且為生產(chǎn)提供安全可靠的保障。在三種清潔系統(tǒng)中,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)具有低運行成本和高清潔度安全性。因此,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)經(jīng)常用于集成電路潔凈室。清潔度要求越高,溫度和濕度控制的準確度越高,潔凈室的投資和運行成本就越高。因此,在環(huán)境清潔度大或溫濕度要求較低的情況下,一些關鍵的工藝設備被安排在較高的水平。清潔度或溫濕度控制區(qū)是集成電路制造清潔車間的設計趨勢。